DUV (Deep Ultraviolet Lithography)

Deep Ultraviolet (DUV) литографията е стандартна технология за производство на полупроводници, използваща ултравиолетова светлина (обикновено с дължина на вълната 193 nm или 248 nm). Тя предшества по-съвременната EUV технология.

Макар и по-стара, DUV литографията остава „работният кон“ на индустрията, използван за производството на по-голямата част от чиповете в света, които не изискват най-висока плътност на транзисторите, като тези в автомобилната електроника и битовата техника. ASML е водещ производител и на тези системи.