Литография (Lithography)

Фотолитографията е основен процес в производството на микрочипове. Тя използва светлина за пренасяне на геометричен модел от фотошаблон върху чувствителен към светлина химикал (фоторезист) върху силициева пластина.

Този процес е подобен на традиционната фотография, но в наномащаб. Разделителната способност на литографската система определя колко малки могат да бъдат елементите на чипа, което пряко влияе върху неговата производителност. Съвременните методи включват DUV (Deep Ultraviolet) и EUV (Extreme Ultraviolet).