MEMS

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems, или микроелектромеханични системи) представляват миниатюрни технологични устройства, които интегрират механични елементи, сензори, задвижващи механизми (актуатори) и електронни схеми върху обща силициева подложка посредством технологии за микрообработка.

Приложения и значение

MEMS технологията е в основата на съвременната потребителска електроника, автомобилната промишленост, мобилните устройства и автономната роботика. Типични примери включват миниатюрни акселерометри, жироскопи, барометрични сензори за налягане и микрофони. Благодарение на минималното си тегло (от порядъка на милиграми) и високата си прецизност, MEMS барометрите и инерционните датчици правят възможно създаването на високочувствителни тактилни сензори и стабилизационни модули за микро-летателни апарати и нано-дронове.